近日(rì)，中微公司宣布其MOCVD設備系列喜迎又一裡(lǐ)程碑：全球第500台MOCVD設備順利付運國(guó)内領先的LED外延片和芯片研發生(shēng)産制造商。

中微公司表示，本批次運付的第500台MOCVD設備爲Prismo UniMax，主要用于氮化镓基Mini LED外延片量産。随着近些年(nián)來(lái)光(guāng)電産業的飛速發展，Mini LED已廣泛應用于電視、筆記本電腦、平闆電腦、桌面顯示器、車載顯示屏、戶外顯示屏等終端産品。

官方介紹稱，Prismo UniMax是專爲高性能Mini LED量産而設計(jì)的MOCVD設備，其具備高産能和高靈活性的特點，在同一系統中可(kě)配備多達4個反應腔，每個反應腔均可(kě)實現獨立控制。Prismo UniMax配置了785mm大(dà)直徑石墨托盤，通過石墨托盤的不同設計(jì)配置，最多可(kě)實現同時加工(gōng)164片4英寸或72片6英寸外延晶片，有效提高産能并降低生(shēng)産成本。此外，Prismo UniMax創新的多區輔助加熱(rè)調節系統，能精确控制托盤局部區域溫度，有助于更大(dà)程度提升LED波長均勻性。